作者：楼俊,付绍军,刘正坤,徐向东,何世平,李秉实,吴忠 单位：中国光学学会;中国科学院西安光学精密机械研究所 出版：《光子学报》2007年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGZXB2007040180 DOC编号：DOCGZXB2007040189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于变间距光栅位移传感器的基本原理，研究了高线密度变化率全息平面变间距光栅的制作方法.所作的变间距光栅已应用在变间距光栅位移传感器中，原理样机测试结果表明，系统分辨率可以达到0.05mm，相对误差可以控制在0.2%FS之内，优于设计指标。

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