作者：张正勇,孔德义,梅涛,单建华,倪林,孙磊,吕晓庆,孟庆虎 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2007年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2007110070 DOC编号：DOCCGJS2007110079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种可安装在曲面上，对三维力进行检测的柔性三维力触觉传感器阵列的实现方法.首先采用MEMS技术制备三维力触觉传感器阵列，再将多个三维力触觉传感器单元分别通过倒装焊技术集成在已加工好的柔性电路板基底上，实现了传感器与信号处理电路的互连和传感器阵列(4&#215；4)的柔性化.采用信号选通的多路信号采集方法简化了传感器阵列的信号处理电路.测试结果表明，柔性触觉传感器阵列可弯曲变形90&#176；以上，检测三维力的分辨率达到0.1 N。

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