作者：金仁成,陈涛,张五金,唐祯安 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2007年第Z1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2007Z11400 DOC编号：DOCBDTQ2007Z11409 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于MATLAB的微气压传感器测试系统的气压控制仿真》PDF+DOC2006年第05期 陈涛,金仁成,张凤田,王宏斌 《微热板式传感器自动测控系统的研究》PDF+DOC2010年第04期 宋来 《基于LTCC技术的无源气压传感器研制》PDF+DOC2017年第05期 刘红雨,李姗泽,王颖麟,李俊 《可燃气体传感器老化测试系统开发》PDF+DOC2017年第03期 徐晓晖,靳保民 《智能窗户》PDF+DOC2017年第19期 王春燕,方兰兰,程华伟 《提高磁栅传感速度的研究》PDF+DOC1996年第04期 段丽华,林海燕,庞文华 《基于单片机的室内灯光控制系统设计》PDF+DOC2004年第05期 赵本虎,赵国库 《气压自动卸荷导轨系统的设计方法》PDF+DOC2004年第06期 王晓明,王玲,王德江 《智能结构及其控制策略发展与应用》PDF+DOC2002年第06期 郑凯,刘和山 《微热板式传感器自动测控系统的研究》PDF+DOC2010年第08期 吴涛

    • 针对微热板式微气压传感器的动、静态性能测试，建立了一套保持真空度稳定的控制系统。参考MATLAB的仿真结果，分别采用模糊控制与模糊PID控制算法设计出控制器，对传感器测试系统的真空度进行了实时控制研究，探讨并分析了真空度动态平衡的控制问题。结果显示，调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小、鲁棒性比较好，可以有效地对测试环境进行真空度调节和设置，能够解决传感器所需气压测试环境10~1000Pa的实时气压控制问题。

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