《γ-Fe_2O_3/硅纳米孔柱阵列湿敏元件的湿敏性能研究》PDF+DOC
作者:王海燕,李隆玉,董永芬,李新建
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2008年第07期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2008070030
DOC编号:DOCCGJS2008070039
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利用匀胶旋涂技术,将微乳-水热法制备出的、粒径均匀可控的γ-Fe2O3纳米颗粒沉积在具有独特微纳双重结构的硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)基片上,制成γ-Fe2O3/Si-NPA湿度传感元件,并对其进行湿度感应测试结果发现,当环境相对湿度(RH)从11%升高到95%时,该元件的电容和电阻分别呈高灵敏度的单值增加和单值降低。在100 Hz的电流频率下,元件的高湿电容值升为低湿电容值的12 500%,低湿电阻值是高湿电阻值的51 515%。分析表明,微乳-水热法对γ-Fe2O3纳米颗粒尺寸的控制以及Si-NPA衬底的独特结构是提高元件灵敏度的主要原因。
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