《基于光栅检测的显微镜闭环扫描控制系统的设计》PDF+DOC
作者:吴耀春,萧泽新
单位:华中光电技术研究所;湖北省光学学会
出版:《光学与光电技术》2008年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXGD2008020200
DOC编号:DOCGXGD2008020209
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高精度扫描控制系统是现代扫描显微系统的重要组成部分,它影响着扫描显微镜对样品的扫描成像质量。提出了一种基于光栅检测的单片机闭环扫描控制系统的设计方案。该系统采用PC上位机发送指令,下位单片机控制扫描工作台的移动,光栅作为检测元件输出脉冲信号。单片机控制电路实现脉冲的计数并计算误差值,控制步进电机进行误差补偿。步进电机的硬件细分驱动,实现了步距2细分、4细分、8细分。实验结果表明该系统的重复定位精度达到0.005mm,满足扫描显微镜对扫描控制系统的要求。
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