《超声键合变频式超声波发生器设计》PDF+DOC
作者:何将三,严勇文,隆志力
单位:西安电力电子技术研究所
出版:《电力电子技术》2008年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDLDZ2008050350
DOC编号:DOCDLDZ2008050359
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用于超声键合工艺的超声波发生器是引线键合封装设备中的主要装置,其作用是驱动换能器并使其处于谐振工作状态,多工作频率点是未来换能器发展的一个重要方向。因为传统超声波发生器不具备多频段频率跟踪功能,所以构建了一种变频式超声波发生器,它可动态适应不同特性的换能器,具有通用、应用面广等特性。变频式超声波发生器基于嵌入式系统,采用快捷准确的直接数字频率合成(DDS)及锁相环(PLL)反馈方案,实现了自动查找换能器各谐振频率以及频率自动跟踪的功能。实践证明,变频式超声波发生器可驱动各种不同谐振频率的引线键合超声波换能器,并达到换能系统工作时的快速锁相和准确锁频要求。
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