《发明与专利》PDF+DOC
作者:
单位:北京信息科技大学
出版:《传感器世界》2018年第01期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGSJ2018010340
DOC编号:DOCCGSJ2018010349
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一种红外吸收结构及其与红外传感器件的集成方法申请号:201710032686.6【公开号】CN106698323A【公开日】2017.05.24【分类号】B81B7/02;B81C1/00;H01L31/0203;H01L31/09【申请日】2017.01.16【申请人】北京芯创睿胜科技有限公司【发明人】赵柱;毛海央【摘要】本发明涉及一种红外吸收结构及集成方法,尤其是一种基于烛灰纳米颗粒结构的红外吸收结构及其与红外传感器件的集成方法,属于红外传感探测的技术领域。红外吸收结构,包括衬底以及设置于衬底上的烛灰纳米颗粒结构层。本发明利用烛灰纳米颗粒结构层能实现对红外
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