作者：郭彤,胡春光,陈津平,傅星,胡小唐 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2008年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2008010090 DOC编号：DOCNMJM2008010099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了将时间相移显微干涉测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上.该方法速度快、无损、非接触、易在晶片级进行，具有亚微米级的水平分辨力，垂直分辨力在纳米量级.测量系统采用Mirau显微干涉物镜，利用高性能压电陶瓷物镜纳米定位器实现垂直方向的相移，并通过健壮的5帧Hariharan算法获取表面的相位信息.通过测量美国国家标准研究院(NIST)认证的标准台阶对系统进行了精度标定，并通过测量微谐振器和压力传感器微薄膜的几何尺寸说明了该方法作为测量和过程表征工具的功能。

    📙 相关资料

    1. 《利用五帧相移算法进行纳米台阶高度的表征》PDF+DOC 描述了一种用于纳米级台阶高度表征的相移显微干涉测量方法，它被广泛用于高精度的表面测量上。系统采用集成了高分辨力(0.7 nm)电容传感器的纳米定位器实现移相、健壮的Hariharan五帧相移算法，利用ISO5436-1：2000国际标准对纳米台阶高度结构进行了评价。结果表明，该方法具有无损、快速和易......
    2. 《美国国家标准与技术研究院(NIST)研究动态》PDF+DOC 1 NIST为了测量纳米级的比热容量，研究出用光学、电子技术检测和加热双层微悬臂梁(Pt-SiNx)的新方法。该方法中双层微悬臂梁同时起加热器、温度传感器和质量传感器(0.01ng分辨力)的作用，通过对沉积铝纳米粒子熔点和比热容的测量，证实系统可以对0.72ng的质量进行校准。2NIST报道了一种基......
    3. 《纳米硅薄膜的量子特征及其应用前景》PDF+DOC 文章通过对纳米硅薄膜结构组分的研究，从实验和理论上共同探讨了其低维量子特征，并由此提出其电输运机制及其可见发光机理．最后，综合纳米硅薄膜的各种新颖物性，展望了其在纳米电子学和ＭＥＭＳ（ 微机电系统） 领域内的应用前景．...
    4. 《基于聚焦探测法的非接触表面形貌测量仪的研究》PDF+DOC 介绍了一种基于光驱聚焦探测技术的光触针式表面形貌测量系统。测量光束聚焦于被测表面上，当被测表面高度变化时，Z向精密位移工作台在步进电机和压电陶瓷的粗、精两级驱动下，使得工件沿垂直方向移动，让焦点始终聚焦在被测表面上，工作台的位移反映了工件表面高度的变化，该位移量由衍射光栅干涉位移传感器测得。该系统的......
    5. 《微机电系统技术及其应用》PDF+DOC 微机电系统是一个新型的多学科交叉的研究领域 ，具有广阔的应用前景。在概述微机电系统发展状况的基础上 ，归结分析了微机电系统在组成结构及特征、材料特性及加工工艺、力学行为等方面异于宏观机械的一些新特征 ，并对微机电系统的主要应用领域进行了讨论。...
    6. 《微/纳机电系统》PDF+DOC 微机电系统 (MEMS)和纳机电系统 (NEMS)是微米 /纳米技术的重要组成部分。MEMS已在产业化道路上发展 ，NEMS还处于基础研究阶段。分析了微 /纳机电系统的发展特点 ，简要地介绍了典型的MEMS和NEMS器件及系统后 ，椭论了MEMS和NEMS发展中的几个问蹄以及它们的发展前景...
    7. 《金纳米颗粒的绿色制备及其在生物传感器中的应用》PDF+DOC 由于金纳米颗粒(AuNPs)特殊的化学、物理特性，使其在生物催化及传感器领域有了越来越重要的应用[1]。目前用来制备金纳米材料的方法有很多[2]。近年来采用新型的、洁净无毒的、绿色的方法来合成金纳米粒子越来越受到重视[3]。该文利用蛋壳膜(ESM)作为载体，在不使用任何外加还原剂和表面活性剂的条件下......
    8. 《基于全息激光技术的纳米级分辨力位移传感器设计》PDF+DOC 介绍了一种新型的基于全息激光技术的纳米位移传感器。全息激光技术最早广泛应用在CD，DVD等系统中，用以读取光盘信息，并对光盘进行寻迹、聚焦等。文中以采用全息激光技术的全息激光头为核心器件，结合少量光学元件，设计出一种纳米分辨力级位移传感器，并通过实验验证了设计结果。...
    9. 《高g值加速度环境微结构动态特性》PDF+DOC 为研究微机电系统(Microelectro-mechanical systems，MEMS)中微结构在高g值加速度环境中的动态特性，研究高g值加速度环境微结构动态测试技术，建立高g值环境微结构动态测试装置，研制适用于高g值加速度环境的压电陶瓷底座激励装置，制备集成压阻元件的典型梁—质量块微结构，测试......
    10. 《基于CuO/GO纳米复合材料的电化学无酶葡萄糖传感器的研究》PDF+DOC 通过水热法合成了CuO/GO纳米复合材料，对其晶体结构和形貌进行了表征，并用于构建无酶葡萄糖传感器。CuO/GO能催化葡萄糖的直接氧化。传感器的灵敏度为5.74μAmM-1，检出限为6.14&#215；10-7 mol&#183；L-1。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。