《力平衡式微加速度计系统特性研究》PDF+DOC
作者:张扬,曲延滨
单位:福州大学
出版:《福州大学学报(自然科学版)》2008年第S1期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFFZDZ2008S10130
DOC编号:DOCFZDZ2008S10139
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力平衡式微机速度计是目前硅微速度计领域研究的热点,文章介绍了力平衡式加速度计的闭环检测原理,通过对反馈方式、偏置电压极性等对加速度计性能影响的定性分析,阐述了不同情况下提高加速度计性能所应采取的措施。
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