作者：杨莺,朱大中 单位：南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所) 出版：《固体电子学研究与进展》2008年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGTDZ2008030350 DOC编号：DOCGTDZ2008030359 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用扰动理论推导了聚酰亚胺薄膜作为声表面波的吸声材料时，声表面波的传输损耗模型。利用网络分析仪对表面涂覆厚5μm光敏型聚酰亚胺薄膜的双声路SAW传感器(中心频率165 MH z)的插入损耗进行测试，对理论模型进行了实验验证。理论结果表明，聚酰亚胺薄膜造成SAW的传输损耗和传感器的中心频率的高低、聚酰亚胺薄膜的厚度以及聚酰亚胺薄膜的宽度成正比。实验测试也证明，聚酰亚胺薄膜对声表面波造成的传输损耗和宽度成正比关系，测得传输损耗为9.5 dB/mm。

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