作者：鲍爱达,徐晓辉,张英祥,范波,郭涛 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008060190 DOC编号：DOCCGJS2008060199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了解决压阻式加速度计的动态特性欠佳的共性，避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏，在结构设计过程中选择合理固有频率是至关重要的。本文就针对一种四边八梁结构的高gn值压阻式加速度计，通过力学知识，简化结构并推导出其固有频率的理论计算公式，并利用有限元仿真软件和测试高gn值加速度计频率特性的方法，对此理论公式进行了仿真和实验验证，证明此理论公式的正确性和可用性。这样，在加速度计结构的设计过程中，可以直接利用此公式计算出结构的固有频率，从而减化加速度计的结构设计和优化过程，设计出最合理的固有频率结构。

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