作者：翁寿松 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》2008年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS2008060070 DOC编号：DOCDGZS2008060079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS(Microelectro mechanical system)器件是一种微型机电一体化的SOC。2008年MEMS器件市场为72.97亿美元，2011年将达到108亿美元，2006～2011年年复合平均增长率为13%。2011年MEMS系统级市场将达720亿美元。MEMS器件中发展最快的器件是传感器MEMS、光MEMS和RFMEMS。MEMS器件的应用已从汽车电子转向消费类电子领域。MEMS器件用于Wii无线游戏机与iphone是2007年MEMS器件应用的最大亮点。MEMS器件的制造类同IC制造，光刻、刻蚀、CVD和CMP设备都可兼用。

    📙 相关资料

    1. 《ADI专注MEMS 30年,超低噪声、超低功耗系列MEMS加速度计产品面市》PDF+DOC 如果你问人们，在智能手机、智能手环、汽车、无人机以及VR等产品中都有哪些器件和芯片?人们能说上很多，但是很少有人会提到MEMS技术，其实MEMS早已融入我们的生活，无论是传统产品或者最新兴电子产品中都可以看到MEMS器件。并且在消费电子产品、汽车工业、航空航天等各领域，MEMS传感器凭借低功耗，高集......
    2. 《MEMS在汽车电器电子技术中的应用现状与发展趋势》PDF+DOC MEMS是多种学科交叉融合的前沿高新技术，MEMS具有体积小、质量轻、耗能低、惯性小、响应时间短等许多优点，在汽车电器电子技术中具有重要的用途。本文介绍了目前MEMS发展的国内外状况，并对MEMS在汽车电器电子技术中的应用、发展趋势及其对汽车电器电子技术的影响进行了分析与探讨。...
    3. 《MEMS传感器市场面临空前机遇》PDF+DOC 随着我国汽车电子、新型数字消费电子和医疗电子等产业的快速发展，对MEMS传感器的各种新需求和基于该技术的创新不断涌现，为此VTI科技(VTI Technologies)高管则公开表示：随着各种新的应用不断出现，以及MEMS器件厂商的技术创新，MEMS传感器产业将迎来一轮新的机会。...
    4. 《MEMS器件及其在生物医学上的应用》PDF+DOC 介绍了MEMS技术的发展概况及MEMS器件在信息领域、传感领域、生物技术领域的应用，重点介绍了MEMS在生物医疗中的应用及未来发展的趋势。...
    5. 《基于MEMS器件的徒步导航系统的技术研究》PDF+DOC 文章讨论了基于MEMS惯性器件的误差补偿技术，使用ZUPT(零速校正)方案实现对测量误差的补偿。文中对方案的实现细节进行了讨论，并设计了验证实验。实验结果表明ZUPT算法对于徒步导航系统的误差补偿有较好的效果。...
    6. 《浅谈传感器技术在机电一体化中的应用》PDF+DOC 机电一体化系统的重要器件之一就是传感器，机械制造、机器人工业、汽车行业等多个领域中，都有传感器技术的应用。在信息发检测、处理和传输中，传感器都发挥着必不可少的作用。...
    7. 《一种微惯性测量系统设计研究》PDF+DOC 在一些航行体控制中需要较高精度的运动测量信息作为导航状态输入。介绍了一种基于MEMS器件的微惯性测量系统的设计，研究了Kalman滤波信息融合算法在此系统的具体应用和传感器的标定方法，并针对该系统设计了一种检验方案，实验Matlab仿真结果表明，系统合理可行。该系统结构简单，为捷联系统的小型化提供了......
    8. 《单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统》PDF+DOC 传感器技术是信息社会的四大支柱之一，传感器和计算机结合形成的智能系统大大的拓展了人类生活的空间。在传感器家族中，根据电容的物理特性制作的传感器占有重要地位。电容传感器是很好的状态传感器，可提高电容检测，尤其是微小电容检测的精度，是目前测控技术的热点。本文重点介绍一套微小电容差分高精度检测电路，该套电......
    9. 《MEMS压力传感器今年将再度强劲增长,受汽车与手机领域推动》PDF+DOC 据IHS iSuppli公司的MEMS与传感器服务，由于大量用于汽车以及快速增长的手机领域，MEMS压力传感器今年将再度强劲增长，而且将高于去年的两位数速度。今年MEMS压力传感器营业收入预计将达17.1亿美元，比2012年的15亿美元增长14%。今年增长率将高于去年的...
    10. 《基于MEMS传感器的输电杆塔倾摆安全监测技术》PDF+DOC 介绍了一种由MEMS传感器与32位Crotex-M0微处理器LPC114组合设计而成的输电杆塔倾摆安全监测仪，将MEMS加速度计输出的数字信号与陀螺仪的数据进行卡尔曼滤波，解算出倾角度数，通过GPRS传输到远程服务器上。该设备体积小、功耗低、处理速度快，可采用太阳电池供电，可应用于电力、通信、桥梁等......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。