作者：宋亦旭,杨泽红,李世昌,赵雁南 单位：中国科学院光电技术研究所;中国光学学会 出版：《光电工程》2008年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDGC2008100220 DOC编号：DOCGDGC2008100229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《300mm硅片高精度真空传输系统设计》PDF+DOC2017年第08期 李学威,何书龙,赵治国 《齿轮参数激光周扫系统检测精度分析》PDF+DOC2015年第04期 孙峰,苏成志 《受电弓滑板图像式测量装置的开发》PDF+DOC2019年第05期 酒井雄人,彭惠民 《高精度温度测量仪》PDF+DOC2005年第S2期 姜华,万辉,殳伟群 《采用CCD的非接触测量中提高精度的一种方法》PDF+DOC2002年第03期 李佳列,丁国清,颜国正,朱洪海

    • 高精度的预对准是设计现代光刻机硅片传输系统需要解决的核心问题之一。首先介绍了预对准单元的设计及实现：预对准机构包括旋转台、对心台和升降台，采用线阵CCD作为传感器进行硅片边缘检测，采用圆拟合方法进行硅片圆心和缺口的定位，对预对准方法的有效性进行了试验验证。然后，给出了硅片传输系统的构成和控制流程，并对系统定位另一个关键部分计算硅片偏心的重定位环节进行了简要介绍。最后，给出了输片重复精度的试验结果。试验结果表明，在此预对准单元基础上实现的硅片传输系统可以有效提高输片精度。

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