《基片表面力负载对SAW谐振器的特性影响研究》PDF+DOC
作者:孙雪梅,李平,文玉梅,陈雨,郑敏
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2008年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2008050090
DOC编号:DOCCGJS2008050099
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分析了SAW谐振器表面力负载对谐振器谐振频率和机械损耗产生的影响。进行了两种表面力加载方式的实验研究,对比实验结果表明:基片底面固定时,表面力负载对SAW谐振器谐振频率的影响主要与负载在基片表面产生的应力大小有关,而谐振器的机械损耗主要与力在基片表面的分布有关。实验结果为SAW力传感器的结构设计提供了参考。
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