《基于声表面波技术探测微量气体的理论分析》PDF+DOC
作者:李淑红,赵启大,廖同庆,廖纪平
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2008年第08期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2008080230
DOC编号:DOCCGQJ2008080239
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声表面波延迟线振荡器的频率对沉积在延迟线表面上的薄膜很敏感,在延迟线路径上覆盖一层具有选择性的吸附薄膜,这层薄膜吸附对其敏感的气体物质后,其质量密度、弹性参数、介电常数、电导率都将发生变化。给出了传感器的理论分析,根据检测需要,设计最优化的气体传感器。
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