《静电计检测微位移的原理和实验》PDF+DOC

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2. 《基于MEMS的电容式传感器信号调理电路设计》PDF+DOC 为了提高MEMS(Micro-electro-mechanical Systems)微机电系统电容式传感器测量低电容的灵敏度，提出了一种MEMS电容式传感器调理电路，并采用绝缘硅片(SOI)MEMS电容式加速度传感器组成了完整的电容测量系统。该信号调理电路采用了一组片上电容阵列用以抵消电容结构的失配......
3. 《一种电容式加速度传感器设计的研究》PDF+DOC 设计了一种惯性式测振传感器，建立了差动电容式加速度传感器的数学模型，并对其作了特性分析，由给定的非线性误差可以求出质量块相对运动的最大量程。本设计具有电路结构简单，频率范围宽约为0～450HZ，线性度小于1%，灵敏度高，输出稳定，测量误差小等优点，并且通过实验验证了各项性能指标满足设计要求。...
4. 《力平衡加速度传感器原理设计》PDF+DOC 在传统的机械传感器的基础上，采用差动电容结构，利用反馈原理，设计了差容式力平衡加速度传感器。该传感器把被测的加速度转换为电容器的电容量的变化，将加速度的变化转变为电压值，大大提高了传感器的灵敏度、非线性及测量范围，可广泛应用于地震、建筑、交通、航空等各领域。...
5. 《一种变面积型差动电容加速度传感器的设计》PDF+DOC 介绍一种基于滑膜阻尼的差动电容加速度传感器.该加速度传感器利用圆柱形差分电容极板间重合面积的改变来检测加速度的大小，保证输出电压与加速度之间的线性度.对加速度传感器进行结构设计和分析，介绍加速度传感器的工艺流程.测试结果表明，该加速度传感器的灵敏度较好，谐振频率与理论计算相吻合。...
6. 《一种差动电容式加速度传感器设计的理论研究》PDF+DOC 设计了一种差动式测振传感器，建立了差动电容式加速度传感器的数学模型，并通过电容的推导计算对其进行了特性分析。对检测电路的结构进行了分析，给出了典型电路结构，推到了电路参数及性能；本设计具有电路结构简单，频率范围宽约0～500Hz，线性度小于1%，灵敏度高，输出稳定，测量误差小等优点；通过实验，各项性......
7. 《电容式位移传感器的信号处理电路设计》PDF+DOC 微电容式传感器技术作为微机电系统研究和制造领域一个重要的分支，近年来在微型化、多功能化、智能化得到迅猛发展。目前该领域的研究虽然有了较大发展，但距实际应用仍存在有待进一步研究和解决的问题。本文在对目前较为常用的几种测量电路结构进行分析的基础上，选取交流激励电容-电压转换电路作为微电容检测方式。通过仿......
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9. 《硅微型加速度传感器技术》PDF+DOC 介绍了硅微加速度计的基本原理以及国内外最新发展的几种硅微加速度计的结构形式，包括压阻式、电容式、隧道式等，分析了这些传感器的基本特点，总结出它们在传感器性能方面存在的一些问题，提出了一些解决关键问题的措施，并对目前两种新的微机理：共振隧穿和介观压阻效应的原理和应用前景进行了论述。...
10. 《基于CAV444的电容式液位传感器设计》PDF+DOC 介绍了电容式液位传感器的测量原理，提出了一种基于新型电容测量集成电路芯片CAV444的电容式液位传感器的设计方案。测试结果表明，该传感器性能稳定，测量精度较高，误差较小，能够满足低浓度瓦斯输送安全监测系统的水位监测需求。...