作者：雷廷平,施云波,赵文杰,李赞,王立权 单位：景德镇陶瓷学院 出版：《陶瓷学报》2008年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFTCXB2008030150 DOC编号：DOCTCXB2008030159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文以四氯邻苯二腈和尿素为原料，采用钼酸铵固相催化法合成了全氯取代氯酞菁锌，并通过红外、紫外光谱对其进行了表征。在SiO2基片上，利用MEMS微加工技术制造了敏感电极，采用蒸发镀膜工艺制作了气体传感器薄膜。气敏测试结果表明：该传感器对氯气有较理想的灵敏特性。

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