作者：赵楷,熊斌,车录锋 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008060080 DOC编号：DOCCGJS2008060089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文分析了传统MEMS电容式加速度计模型的不足，根据三明治结构电容式加速度计的特点，考虑了寄生电容和热机械噪声的影响，建立了用Verilog-A硬件描述语言实现的模型。该模型与主流集成电路设计环境相兼容，具有很强的可移植性。模拟验证结果表明，该模型如实反映了MEMS电容式加速度计的工作状态，能够为设计单片集成的微弱电容检测电路提供有效的帮助。

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