作者：陈迪 单位：上海科学技术出版社 出版：《》 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKXZZ2008060220 DOC编号：DOCKXZZ2008060229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微电子机械系统》PDF+DOC1995年第10期 王跃林,苏以撒,王文 《微电子机械系统计算机辅助设计》PDF+DOC1999年第10期 黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇 《论微电子机械系统MEMS》PDF+DOC2004年第03期 鄢云 《MEMS传感器性能提高相关技术研究》PDF+DOC2003年第01期 黄树森,李昕欣,王跃林,鲍敏杭 《MEMS在电气设备中应用探讨》PDF+DOC2003年第10期 康明才,吴军基,黄锦安 《我国传感器产业化发展的现状、机遇和前景》PDF+DOC2002年第10期 陈克铭 《MEMS技术的现状和发展趋势》PDF+DOC2001年第01期 刘光辉,亢春梅 《MEMS微加速度与微角速率集成传感器的研制》PDF+DOC2011年第03期 吕树海,杨拥军,徐淑静,张旭辉 《微机电系统技术的发展趋势研究》PDF+DOC2008年第04期 刘锦 《微电子机械系统技术与具体应用》PDF+DOC2014年第16期 郭俊莉

    • 微电子机械系统(Micro Electro Mechanical Sys-tem)简称 MEMS，是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理控制电路、接口、电源等于一体的机械装置。它将自然界各种物理量，如声、光、压力、加速度、温度以及生物、化学物质的浓度信息转化为电信

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