作者:赵艳伟 单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版:《光机电信息》2008年第10期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGJDX2008100100 DOC编号:DOCGJDX2008100109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 基于Shack-Hartmann波前传感器的波前测试分析系统可以对球面或非球面透镜的波前进行全方位的实时测试分析,具有高速度、高精度和高动态范围的优点,对晶圆上透镜的检测时间可以达到3s以下,非常适合大批量生产的微透镜的在线检测。

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