作者：郭庆鼎,赵希梅 单位：东方国际科技传媒有限公司 出版：《智能机器人》2008年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSFKZ2008030290 DOC编号：DOCSFKZ2008030299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 3.5光栅光栅是利用光的反射、透射和干涉现象制成的一种光电检测装置，有物理光栅和计量光栅。物理光栅刻线比较细密，两刻线之间距离(称为栅距)在0.002～0.005mm 之间，它通常用于光谱分析和光波波长的测定。计量光栅刻线较粗，栅距在0.004～0.025mm 之间，在数字检测系统中，通常用于高精度位移的检测，是数控系统中应用较多的一种检测装置，尤其是在闭环伺服系统

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