作者：张大鹏,高杨,王宇航,文数文 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2018年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2018030160 DOC编号：DOCYDSG2018030169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《薄膜体声波谐振器应力负载效应摄动分析》PDF+DOC2019年第09期 高杨,张大鹏,刘婷婷 《膜片上FBAR结构的阵列式伽马辐照剂量计》PDF+DOC2016年第01期 尹汐漾,高杨,韩宾,刘婷婷 《掺镁ZnO基薄膜体声波谐振器的制备和性能研究》PDF+DOC2017年第01期 卢学良,段力,刘一剑,汪军,张亚非 《电磁超表面高灵敏度太赫兹传感器的设计》PDF+DOC2019年第04期 陈淑瑜,韦德泉 《液体环境中FBAR压力传感器的仿真与分析》PDF+DOC2018年第10期 马晓鑫,苏淑靖,耿子惠,吴永盛 《梯形变截面悬臂梁式微质量传感器设计与分析》PDF+DOC2012年第10期 高仁璟,赵剑 《密封空气型FBAR温度传感器》PDF+DOC2012年第05期 丁扣宝,刘世洁,何兴理 《流固耦合传热对蒸汽湿度测量传感器的影响》PDF+DOC2015年第02期 钱江波,严晓哲,韩中合,李恒凡

    • 基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的力学传感器有很大的应用潜力，但其应力负载效应的敏感机理尚不明确。电极化效应可能是应力负载效应的敏感机理之一。为了研究电极化效应对谐振频率的影响，提出了电极化效应的解析模型。首先根据在理想FBAR中并联谐振频率与纵波声速的关系，推导出并联谐振频率关于压电层材料参数的表达式；然后根据直流电压主要对FBAR的弹性常数和厚度的影响，推导出并联谐振频率与直流电压的关系；最后利用压电效应，得到了力载荷与并联谐振频率的关系。代入数值计算得到并联谐振频率的相对偏移量为+1.003%@400V，对比测试结果，并联谐振频率的相对偏移量为+0.90%@400V，验证了模型的正确性。计算了力载荷为1mN时，电极化效应导致谐振频率的偏移量约为0.5kHz。对比实验测得的应力负载效应对谐振频率的偏移量最低约为262kHz，证明了在应力负载效应中，电极化效应对谐振频率偏移的影响可忽略。

    📙 相关资料

    1. 《薄膜体声波谐振器应力负载效应摄动分析》PDF+DOC 薄膜体声波谐振器(FBAR)力学传感器有很大的应用潜力，但其敏感机理——应力负载效应尚不能被准确描述。为准确描述应力负载效应，预测FBAR力学传感器的频率灵敏度，提出一种摄动与有限元联合求解方法，并利用该方法计算FBAR微加速度计的频率-加速度灵敏度。首先，在COMSOL有限元软件中计算FBAR微加......
    2. 《膜片上FBAR结构的阵列式伽马辐照剂量计》PDF+DOC 设计了一种膜片上薄膜体声波谐振器(FBAR)结构的伽马辐照剂量计。采用FBAR替代传统伽马辐照检测元件来实现伽马辐照剂量检测的新方法，并提出FBAR呈阵列式分布的结构，可实现辐照剂量和分布的检测。为了对FBAR进行温度补偿，设计了由SiO2与Si3N4组成的双层复合薄膜，SiO2的温度系数为+85&......
    3. 《掺镁ZnO基薄膜体声波谐振器的制备和性能研究》PDF+DOC 固体装配型薄膜体声波谐振器(FBAR)机械强度好，尺寸小，可在硅片上三维立体集成，灵敏度大，在未来的通信设备制作高带通滤波器和物联网传感器中展现出广泛的应用前景。通过射频磁控溅射系统制备了以掺镁ZnO(MgxZn1-xO)作为压电层的固体装配型薄膜体声波谐振器，研究了掺镁ZnO对薄膜体声波谐振器谐振......
    4. 《电磁超表面高灵敏度太赫兹传感器的设计》PDF+DOC 基于电磁超表面传输特性设计高灵敏度的太赫兹传感器。数值仿真当覆盖材料的厚度一定时，随着覆盖材料折射率的增加，相应的谐振频率偏移量也随之呈线性增大，计算得到传感器的灵敏度为0. 026 THz/RIU。当覆盖材料的折射率一定时，随着覆盖材料厚度的增加，相应的谐振频率偏移量也会增大。材料的折射率不变，则......
    5. 《液体环境中FBAR压力传感器的仿真与分析》PDF+DOC 设计了一种侧向场激励剪切波模式的薄膜体声波(FBAR)压力传感器，利用COMSOL Multiphysics有限元仿真软件构建了传感器的三维模型并添加了压电效应多物理场耦合，得到了FBAR压力传感器的位移分布以及谐振频率与响应电压的关系。进一步，模拟了FBAR压力传感器在生理盐水和血液两种液体环境下......
    6. 《梯形变截面悬臂梁式微质量传感器设计与分析》PDF+DOC 针对微小集中质量测量问题，提出并制备了一种梯形变截面悬臂梁式微质量传感器，建立了梯形变截面悬臂梁式微质量传感器的振动分析模型。采用有限元方法求解其振动控制方程，获得了微质量传感器的灵敏度。仿真分析结果表明，相对于等截面矩形悬臂梁式微质量传感器，单层压电和双层压电结构的变截面悬臂梁传感器的灵敏度分别提......
    7. 《密封空气型FBAR温度传感器》PDF+DOC 薄膜体声波谐振器(FBAR)是性能优良的压电换能器。通过在体硅刻蚀型FBAR背面密封空气的方法制作了密封空气型FBAR，研究了密封空气型FBAR用作温度传感器的可行性。实验结果表明，在20～100℃的温度范围内，密封空气型FBAR温度传感器的并联谐振频率随温度线性变化，且具有很好的稳定性与可靠性。...
    8. 《流固耦合传热对蒸汽湿度测量传感器的影响》PDF+DOC 采用流固耦合法，分析计算了不同蒸汽参数及流速条件下谐振腔内的温度分布；加载温度载荷，计算了不同条件下谐振腔体的热变形量；根据谐振腔体有效部分内表面节点热变形量的平均值，分析了谐振腔体节点热变形对谐振频率的影响.结果表明：随着蒸汽温度升高和流速增大，谐振腔体温度升高，热变形量增大，谐振频率偏移量增大.......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。