作者：王立鼎,褚金奎,刘冲,罗怡 单位：中国机械工程学会 出版：《机械工程学报》2008年第11期 页数：11页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXXB2008110040 DOC编号：DOCJXXB2008110049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫 《微机电系统的研究内容与发展现状》PDF+DOC2001年第06期 李国平,陈子辰 《微电子机械技术的现状与发展》PDF+DOC1997年第06期 赵志诚 《微型运载系统构成原理的研究》PDF+DOC1996年第03期 崔天宏,王立鼎,吕琼莹 《微机电系统的研究与展望》PDF+DOC2005年第01期 林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰 《微机电系统(MEMS)技术及发展趋势》PDF+DOC2004年第01期 王亚珍,朱文坚 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《关于微机电系统研究》PDF+DOC2003年第02期 温诗铸 《微能源》PDF+DOC2002年第06期 刘路,解晶莹 《微机电系统的研究与应用》PDF+DOC2014年第01期 肖顺

    • 介绍了中国微纳制造领域的总体概况。从微构件力学性能、微纳摩擦磨损及粘附行为研究、典型微流体器件输运特性研究、拓扑优化技术在微纳结构设计中的应用研究、微传热学的研究和微测试方法和装置的研究具体介绍了微纳制造基础理论方面取得的进展。从设计方法、硅基微机电系统(Micro electro mechanical system，MEMS)制造工艺、非硅MEMS制造工艺等方面介绍了微系统设计与加工工艺研究进展。从物理量微传感器、微执行器件与系统、微纳生化传感与分析和微能源等方面介绍了微纳器件与微纳系统的研究进展，最后对中国微纳制造发展进行了总结和展望。

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