作者：吕家云,张健,周晓峰,刘伟景 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2008年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2008020160 DOC编号：DOCYDSG2008020169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 以石英晶体微天平传感器为平台，研究六甲基二硅胺烷(HMDS)处理前后的纳米ZnO作为敏感膜湿度敏感特性。用HMDS处理后的纳米ZnO膜表面呈厌水性，同未用HMDS处理的纳米ZnO膜相比，对湿度的响应敏感度明显降低。进一步的研究发现，用HMDS处理后的纳米ZnO膜对有机气体，如乙醇等，仍有很好的响应。该特性可被用来开发具有对水蒸汽具有抗干扰能力的气体传感器。

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