作者：李昌青,胡明,尹英哲,马晋毅,冯有才,陈鹏 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2008年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2008060110 DOC编号：DOCYDSG2008060119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 用直流反应磁控溅射法制备了Pt-WO3气敏薄膜，进行了薄膜晶体结构和表面形貌的分析，研究了添加Pt对WO3电学和气敏特性的影响。实验证明：当Pt膜厚为4 nm时，WO3薄膜对气体的敏感特性得到改善，对φ(NO2)=5&#215；10-6和φ(NH3)=10&#215；10-6的工作温度均降低了50℃，灵敏度分别达到11.5和900，是纯WO3薄膜的2~3倍，且响应时间缩短。

    📙 相关资料

    1. 《新型碳纳米管复合薄膜材料的气敏性能》PDF+DOC 采用射频反应磁控溅射锡(Sn)靶和钨(W)靶的方法制备了SnO2/WO3/MWCNT复合薄膜材料和相应的气敏传感器，通过FSEM、XRD和XPS等方法分析了复合薄膜材料的横断面表面形貌、物相结构及表面化学组成，测试了该气敏传感器的灵敏度、选择性和响应恢复等气体敏感性能.实验结果表明：该复合薄膜气敏传......
    2. 《超声雾化热分解气相沉积法制备TiO_2薄膜的气敏特性研究》PDF+DOC 运用超声雾化热分解法制备了纯TiO2薄膜，并通过超声雾化分解和电子束蒸发两种方法注入了Ru，Rh，Ir杂质，研究了各种薄膜对O2的传感特性，并利用透射电镱和原子力显微镜分析薄膜晶体的微观结构。实验发现，纯TiO2薄膜在高工作温度(400℃)下对O2的传感性也较弱，而通过超声雾化分解法制备的掺杂TiO......
    3. 《多孔硅气体传感器的制备及其气敏性能的研究》PDF+DOC 以P+型硅片为基底，利用双槽电化学腐蚀方法制备不同孔隙率的多孔硅(Porous Silicon)，介绍多孔硅气体传感器的原理和优点，通过SEM和AFM对PS薄膜的表面形貌进行分析，研究不同孔隙率条件下PS薄膜的气敏灵敏特性。结果表明：随着孔隙率的增加，PS薄膜的响应/恢复时间不断减小，薄膜对空气中较......
    4. 《介孔硅基氧化钨薄膜气敏传感器的性能研究》PDF+DOC 在表面结构最优的基底上制备的介孔硅基底WO3基薄膜气敏微传感器，并对其进行表面结构，电学性能和气敏性能分析。在室温下介孔硅基氧化钨薄膜气敏元件对体积分数为20&#215；10-6的NH3的灵敏度可达到18.2，50oC灵敏度为1.35。...
    5. 《微波辅助制备Pt/WO_3用于生物标志物丙酮的检测》PDF+DOC 通过微波辅助溶剂热法一锅制备了贵金属Pt修饰的WO_3(Pt/WO_3)，并将该材料应用于呼吸生物标志物丙酮的检测。实验结果表明，相比于纯相WO_3，贵金属Pt修饰的WO_3明显提高了材料对于丙酮气体的响应的灵敏度，并且当反应溶液中加入0.25 mL 0.1 mol/L的氯铂酸乙醇溶液时得到的材料(......
    6. 《Pd/SnO_2/SiO_2/Si集成薄膜的结构与气敏性能》PDF+DOC 采用磁控溅射技术制备Pd/SnO2/SiO2/Si集成薄膜.研究退火处理对薄膜微观结构和表面形貌的影响，进而测试了相关的气敏性能.实验证明，经过氧化性退火处理，集成薄膜中的SiO2层厚度从3nm增长到50nm左右，形成Pd/SnO2/SiO2/Si结构，SnO2薄膜形成金红石结构的多孔柱状晶.气敏测......
    7. 《气敏材料的研究进展》PDF+DOC 从气敏材料种类、制备方法、改善气敏材料缺陷的手段等方面介绍了气敏材料的研究进展，论述了气敏材料研究中的新动向，展望了它的未来发展。...
    8. 《铁氧化物薄膜气敏材料的制备及性能研究评述》PDF+DOC 本文综合介绍近年来在铁氧化物薄膜气敏材料制备方法、性能方面的研究新进展 ，探讨了各种方法的特点。提出了今后铁氧化物气敏传感器的研究及改进方向...
    9. 《基于碳纳米管的气敏传感器研究进展》PDF+DOC 碳纳米管(CNTs)具有独特的电学、力学、物理、化学性能，可对许多气体进行选择吸附和快速检测。近年来，碳纳米管在气敏传感领域的研究及应用取得了显著进展。碳纳米管气敏传感器具有体积小、常温下即可检测、灵敏度高、响应速度快等优点。综述了本征碳纳米管气敏传感器、碳纳米管气敏传感器的功能化修饰、碳纳米管气敏......
    10. 《基于介电电泳组装技术的PEDOT/PSS-SWCNTs气体传感器的研究》PDF+DOC 采用介电电泳技术组装制备PEDOT/PSS-SWCNTs纳米气敏薄膜，并研究外加交流电场的频率、电压及组装时间与气体传感器的导电及气敏性能的关系。结果表明，良好分散在PEDOT/PSS基质中的SWCNTs定向排列在叉指电极对之间。当频率在0.5～10MHz的范围内，传感器的电导率及气敏响应的变化不大......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。