《纳米氧化物薄膜紫外光照下气敏性能研究进展》PDF+DOC
作者:张宏,林志东,艾华
单位:中国电子学会;中国电子元件行业协会
出版:《电子元件与材料》2008年第11期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZAL2008110040
DOC编号:DOCDZAL2008110049
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介绍了金属氧化物薄膜电极的制备方法与过程,阐述了紫外光作用于金属氧化物半导体的光照机理。基于实际应用和市场需求,就有关光照后金属氧化物薄膜的气敏性能的研究现状进行了探讨,并展望了其今后的应用与研究方向。
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