作者：邓洪有,饶云江,冉曾令,廖弦,刘为俊 单位：中国光学学会 出版：《光学学报》2008年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXXB2008020110 DOC编号：DOCGXXB2008020119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 157nm准分子激光用于微加工具有单光子能量高，峰值功率高，材料吸收系数高，分辨率高等优点。利用157nm激光微加工的方法，在光子晶体光纤上融切出微小矩形孔，从而构成腔长为45.6μm的微光纤法布里-珀罗干涉腔，得到的干涉条纹平滑，衬比度约为26dB，并从激光与石英材料的相互作用上分析了形成较好干涉条纹的原因。把这种微腔应用于应变测量，在550μm范围内，腔长增量相对于应变的灵敏度为0.32nm/μm，线形度达0.9994。实验证明该微腔对温度不敏感，800℃范围内腔长变化仅20nm。157nm准分子激光加工光纤法布里-珀罗腔方法简单，一次成型，具有较高的加工效率和精度，有望实现光纤法布里-珀罗腔的规模化批量制造，具有较好的应用前景。

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