作者：淮永进,韩郑生 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》2008年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX2008040180 DOC编号：DOCBDTX2008040189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种可以把脉搏压力信号直接转换为电流信号输出的高精度阵列脉搏传感器.采用牺牲层法加工晶体管的栅极与CMOS工艺具有良好的兼容性.对传感器栅电容和输出电流进行测试，在1.5~9.5kPa的动态范围，传感器电容的灵敏度约为0.5fF/hPa；传感器输出电流与压力呈现较好的线性和指数特性.分析结果表明MOS栅面积的改变对压力-电流响应曲线的线性度有一定影响。

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