作者：刘鹏 单位：中国半导体行业协会 出版：《中国集成电路》2008年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCDI2008090140 DOC编号：DOCJCDI2008090149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于自旋阀结构的磁传感器因其优良的性能，在传感器家族中具有越来越重要的地位。在自旋阀磁传感器的研制过程中，自旋阀薄膜的制备与性能优化是其中最为重要的一个环节。具有优良特性的自旋阀薄膜是制造高性能自旋阀磁传感器的重要基础。本文介绍了自旋阀薄膜的特点和性能参数，介绍了自由层对自旋阀性能的影响，并介绍了如何通过改进自由层结构对自旋阀薄膜的性能进行优化。

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