作者：张乐,余婷婷,孙丽娜,张璐,闫桂珍 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008040260 DOC编号：DOCCGJS2008040269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种MEMS高温压力传感器》PDF+DOC2016年第06期 王伟忠,何洪涛,卞玉民,杨拥军 《压电射流角速率传感器》PDF+DOC1998年第01期 任宏超,张福学 《微型磁通门传感器研究的现状与未来发展》PDF+DOC2002年第04期 张雅茹,兰慕杰,王东红 《MEMS微加速度与微角速率集成传感器的研制》PDF+DOC2011年第03期 吕树海,杨拥军,徐淑静,张旭辉 《基于MEMS陀螺的旋转弹用姿态传感器的研制》PDF+DOC2010年第05期 吴立锋,严庆文,徐鸿卓,孙成祥,张福学 《一种基于MEMS工艺的二维风速传感器的设计》PDF+DOC2007年第11期 沈广平,吴剑,张骅,秦明,黄庆安 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2007年第23期 牛君,刘云桥 《MEMS磁场传感器的研究进展》PDF+DOC2006年第04期 陈洁,黄庆安,秦明 《基于MEMS的力传感器薄膜应变计加工工艺》PDF+DOC2006年第01期 王嘉力,高晓辉,姜力,刘宏 《基于MEMS力传感器的智能绑带装置研制》PDF+DOC2014年第02期 陈得民,张威,周浩南,沈唯真

    • MEMS射流角速率传感器的工作原理是当有外加角速度时，腔内射流发生偏转，此时腔内产生的不对称温度分布通过微悬空铂丝输出一个差分电压信号。由于器件中的气流在工作平面上作循环运动，这样器件的性能强烈依赖于悬空热敏检测丝的对称性和平整度。考察了不同退火条件对SiC支撑层内应力的影响，结果发现在450℃退火半小时的条件下产生低的张应力SiC，既满足了平整性要求又能很好地保护其下的玻璃衬底。还研究了不同厚度的SiC层在纯HF溶液中腐蚀1h对玻璃的保护和金属层的“起皮”现象，得出1μm厚的SiC能有效地防止玻璃表面被腐蚀，而延长反溅射的时间可避免金属层“起皮”现象发生。

    📙 相关资料

    1. 《一种MEMS高温压力传感器》PDF+DOC 基于硅压阻效应，利用微电子机械系统(MEMS)技术，研制了一种可用于多种领域的高温绝压压力传感器。为了达到耐高温的目标，传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工，并利用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析。同时，对传感器的电阻结构、金属布线系统、传感器支撑层键合技术及流片工艺进行......
    2. 《压电射流角速率传感器》PDF+DOC 叙述了压电射流角速率传感器的工作原理，并以实验结果为依据，提出了结构改进方案，讨论了提高零位重复性和扩展动态范围的方法。...
    3. 《微型磁通门传感器研究的现状与未来发展》PDF+DOC 叙述微型磁通门传感器研究的现状 ，介绍微型磁通门传感器的结构和加工工艺 ，比较不同类型微型磁通门的差异 ，探讨微型磁通门传感器研究的发展方向...
    4. 《MEMS微加速度与微角速率集成传感器的研制》PDF+DOC 介绍了一种全新的MEMS微型惯性器件，该器件是一种基于热对流原理的热膜式传感器，它利用一个单敏感元件同时测量加速度和角速率。该器件由一个加热器和两组微型温度传感器组成，加热器加热气体形成的热对流气体作为敏感元件，该器件通过微型温度传感器测得的热对流气体的温度差实现加速度和角速率的测量。分析了器件的工......
    5. 《基于MEMS陀螺的旋转弹用姿态传感器的研制》PDF+DOC 旋转弹姿态参数的测量对于精确制导控制有重要的意义，为了检测旋转弹姿态，研制出一种可检测旋转弹姿态的传感器。利用一只重力加速度计和自行研制的MEMS陀螺作为敏感部件，利用MSC1214对两路信号处理，输出旋转弹的滚动、俯仰和偏航的角速率。设计了传感器的硬件电路和软件的算法。实验结果表明，该传感器可同时......
    6. 《一种基于MEMS工艺的二维风速传感器的设计》PDF+DOC 给出了一种基于MEMS工艺的二维热风速传感器的设计、制造以及测试结果.该传感器采用恒功率工作方式，利用热温差的方法测量风速和风向.本传感器采用MEMS剥离工艺在玻璃衬底上同时加工出加热电阻和测温电阻，利用简单可靠的加工工艺实现了热隔离和高灵敏度.经过风洞风速风向测试，得知传感器的风速量程超过10m/......
    7. 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC MEMS是微机电系统的简称，是多种学科交叉融合的前沿高技术，是未来的主导产业之一，将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式产生深远的影响。本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、以及主要应用。...
    8. 《MEMS磁场传感器的研究进展》PDF+DOC 磁场检测在工农业生产和人们日常生活中非常普遍。随着微电子机械(MEMS)的发展，用MEMS技术研制磁场传感器正获得越来越多的研究。基于MEMS磁场传感器的原理，对各类磁场传感器做了简要介绍，评述了各种MEMS磁场传感器的加工工艺及工作原理，并对MEMS磁场传感器的发展进行了展望。...
    9. 《基于MEMS的力传感器薄膜应变计加工工艺》PDF+DOC 提出了在铝合金基体上磁控溅射80Ni20Cr薄膜电阻应变计的加工工艺，说明了其工艺的实现步骤。采用低弹性模量的铝合金制作力传感器的弹性体可以提高力/力矩传感器的灵敏度。提出了一种适合MEMS加工的全平面的力/力矩传感器弹性体结构。并介绍了薄膜电阻应变计构成的微型六维力传感器和薄膜厚度的测量手段。通过......
    10. 《基于MEMS力传感器的智能绑带装置研制》PDF+DOC 该文研制了一种基于MEMS力传感器技术的智能货物绑带装置。攻克了多轴传感器的采集一致性及抗干扰等关键技术，提高了使用过程中传感器的测量信号稳定性及测量可靠性，研发了单片集成多轴MEMS力传感器，阐述了MEMS力传感器制作工艺；研究了小体积大电流控制技术，完成智能货物绑带装置的电动控制系统设计；解决了......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。