作者：李晓伟,张正元 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2008年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2008060030 DOC编号：DOCMINI2008060039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对热激励谐振型压力传感器在不同激励电压下会产生不同的热梯度场，进而影响传感器的谐振频率这一现象，采用开环测试系统进行试验，得到热激励谐振型压力传感器的热激励幅度与谐振频率的变化规律；并对实验结果进行了进一步的分析，为合理优化设计传感器的相关参数提供了一定的理论依据。

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