作者：汤雅权,张海涛,马盛林,于晓梅 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008040350 DOC编号：DOCCGJS2008040359 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种基于SOI技术的微悬臂梁传感器集成化方案，并从传感器信号调理电路的设计和集成化工艺设计方面论证了该方案的可行性。微悬臂梁传感器集成化系统主要包括惠斯通电桥阵列以及微悬臂梁传感器的信号调理电路。信号调理电路部分包括温补电流源、时分多路选择器和两级仪用放大器。测量的结果证实了我们单片集成的可行性。

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