《MEMS高G值加速度传感器设计》PDF+DOC
作者:石云波,祁晓瑾,刘俊,孟美玉
单位:北京仿真中心;中国仿真学会
出版:《系统仿真学报》2008年第16期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXTFZ2008160230
DOC编号:DOCXTFZ2008160239
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针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高g值梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部KOH腐蚀的方法,减轻质量块质量,且减小质量块质心与梁中心面的相对距离。利用力学计算与工艺相结合,确定了结构尺寸;通过Ansys软件对其进行应力分析、模态分析,得到了结构的输出灵敏度与一阶固有频率;最后利用瞬态分析验证了该结构能够承受20,000g的瞬态冲击,符合设计要求。
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