《无粘连键合技术与伺服型±70g微加速度传感器》PDF+DOC

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2. 《静电力作用下微机械结构的位移特性分析》PDF+DOC 分析了在微机械传感器与执行器中常用的３种微机械结构在静电力作用下的静态位移特性，并对典型结构进行了数值计算。结果显示对质量块平动的双端固支梁岛结构在静电力作用下极板的最大平衡位移正好为无静电力时极板间距的１／３，其他２种结构在静电力作用下极板中心处的最大平衡位移均略小于无静电力时极板间距的１／３...
3. 《电容传感器设计中的误差修正》PDF+DOC 根据磁场理论，分析了电容传感器中电容非理想化引起的测量误差，指出了消除该误差的方法，并根据该方法进行了具体的设计计算。最后，给出了由计算机计算的具有实际意义的结果。...
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7. 《硅电容传感器中静电封接工艺技术的应用》PDF+DOC 对于新近发展起来的新一代结构型力敏器件，如硅电容力敏器件、电容型加速度力敏器件等，常规的静电封接工艺已无法满足其小间隙(间隙通常小于10μm)封接的特殊要求，封接后会造成极板间的粘连，导致器件失效。文中结合电容传感器的结构特点，提出了一种小间隙，非粘连的静电封接工艺方法，确定了相应的封接温度、封接电......
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10. 《电容式植物含水监测传感器的数学建模及电路设计》PDF+DOC 国内目前的农业灌溉过程中，主要利用土壤和环境湿度来判断作物缺水状况。在研究平行板电容传感器工作原理的基础上，提出了用电容传感器测量植物含水情况，并提出在测量中将电容极板间被测物质和间隙空气抽象为固、液、气三相的方法，理论上分别建立了用于植物水分测量的三相介质的并联、串联数学建模，并做了数值模拟分析。......