作者：陈志勇,周斌,张嵘 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008040110 DOC编号：DOCCGJS2008040119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在MEMS电容式力传感器中，力被变换为电容的变化，再用电路检测电容的变化以反映力的信号。这种力-电容变换方式的一个缺点是在大量程下，由于电容变化量与极板位移之间的非线性，检测输出与被检测的力之间具有较为严重的非线性关系。本文提出一种用力-极板位移之间的非线性抵消极板位移-电容变化量之间的非线性的结构方式，用瑞利-里兹法计算了结构中具有“硬弹簧”特性的梁的受力与变形之间的非线性关系。实验结果表明，采用这种设计的结构非线性降低了约1/3。

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