作者：苏凤,陈向东 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2008年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2008010280 DOC编号：DOCCGQJ2008010289 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 传统的电容式湿度传感器采用感湿膜都是水蒸汽通过上表面扩散的长方体感湿膜，因上表面面积有限，且有一部分被上电极覆盖，影响了系统的响应时间。采用了水蒸汽从周围扩散的圆柱体、圆环体结构，将其与传统的长方体做了比较，并在分析圆环体时引入的占空因子k，最后，将电容归一化得出圆柱体的响应时间约为长方体的10倍，圆环体与圆柱体相比，响应时间可减少约77.2%，大大缩短了响应时间，且圆柱体与圆环体对与薄膜厚度没有特别要求，因而还可以减小器件体积。

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