作者：张雪静,温志渝,王建国,孙建新 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008010110 DOC编号：DOCCGJS2008010119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种微型集成化光谱传感器，其结构包括不同腔长的Fabry-Perot腔阵列、光电探测器阵列、读出电路几部分。一个光谱探测单元包括一个Fabry-Perot腔和其下的光电探测器，各Fabry-Perot腔腔长的不同，可实现对不同波长的检测。该光谱传感器无可动部件，结构性能稳定，用CMOS工艺和MEMS工艺实现一体化集成，制作体积为mm量级。文章中将详细阐述该传感器的各部分结构设计和工艺实现等问题。

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