作者：程兆刚,卢健康,曹昌平,何小展 单位：西安微电机研究所 出版：《微电机》2008年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWDJZ2008050260 DOC编号：DOCWDJZ2008050269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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