作者：徐春晓,房立清,周新伟 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2008年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2008060110 DOC编号：DOCWXJS2008060119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《用于汽车的硅压力和加速度传感器》PDF+DOC1994年第01期 张传忠 《压阻式硅微型加速度传感器的研制》PDF+DOC2003年第11期 席占稳 《耐腐蚀液位变送器》PDF+DOC1996年第04期 徐广孝,孙心男,张阳,徐广忠 《硅压阻式传感器的温度特性及其补偿》PDF+DOC2003年第Z1期 樊尚春,彭春荣 《新颖型弹性膜硅加速度传感器芯片的设计》PDF+DOC2003年第08期 邓永和 《压阻式力敏硅传感器的结构剖析》PDF+DOC2001年第07期 汤恒,唐世洪 《三分量光纤加速度传感器探头设计进展》PDF+DOC2012年第08期 侯跃峰,路智敏,张文涛,李芳 《抗冲击耐高温微加速度传感器设计》PDF+DOC2009年第03期 徐春晓,房立清,周新伟 《高g微加速度计的研究》PDF+DOC2008年第02期 孟美玉,石云波,刘俊,祁晓瑾 《基于介观压阻效应的硅微加速度计研究》PDF+DOC2007年第08期 吴瑞,温廷敦

    • 设计了一种基于SOI技术的压阻式抗冲击微加速度计，解决了电阻在高温时产生漏电流问题，有效扩展了其温度应用范围。设计方案合理应用光刻I、CP刻蚀等先进技术使其工艺得到实现。研究为下步耐高温压阻式传感器的制作提供了依据。

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