《交流永磁伺服系统技术讲座 第六讲(六) 伺服控制系统中的传感器》PDF+DOC
作者:郭庆鼎,赵希梅
单位:东方国际科技传媒有限公司
出版:《智能机器人》2008年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFSFKZ2008040290
DOC编号:DOCSFKZ2008040299
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《干涉测量法增加了测量深度》PDF+DOC1997年第09期 Nicolas Tanala,高国龙
《通过镜头进行圆片—中间掩模对准的远紫外步进机》PDF+DOC1991年第03期 刘恩荣
《激光检测》PDF+DOC1989年第02期 陈五高
,毕晓玲
《激光在光学仪器中的应用》PDF+DOC1987年第02期 杨宝成
《频率分裂在双频激光器和位移传感器中的两种新应用(英文)》PDF+DOC2005年第03期 宗晓斌,张书练
3.6激光干涉仪激光是60年代末兴起的一种新型光源,广泛应用于各个方面。它与普通光相比具有许多特殊性能:高度相干性相干波是指两个具有相同方向、相同频率和相位差相同的波。普通光源是自发辐射光,是非相干光。激光是受激辐射光,具有高度的相干性。方向性好普通光向四面八方发光,而从激光器发出来的激光,其发散角很小,几乎与激光器的反射镜面垂
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