作者:郭宏 单位:航天科技集团公司九院七七一所 出版:《微电子学与计算机》2008年第11期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFWXYJ2008110530 DOC编号:DOCWXYJ2008110539 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 介绍了通过半导体单岛膜结构设计和MEMS工艺技术对扩散硅原理的压力传感器设计及应用进行了拓展.在低量程范围较大幅度提搞了压力传感器精度,并对实现产品关键工艺条件进行了描述。

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