作者：卜丹,邱成军 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2008年第09期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2008090090 DOC编号：DOCBDTQ2008090099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于微悬臂梁的生化传感器》PDF+DOC2004年第06期 曾磊,周嘉,黄维宁,黄宜平 《MEMS痕量爆炸物传感器的探测选择性分析》PDF+DOC2008年第07期 齐永光,孔德义 《MEMS高温压力传感器研究与进展》PDF+DOC2009年第11期 张冬至,胡国清,陈昌伟 《谐振式MEMS压力传感器的设计与分析》PDF+DOC2019年第12期 许高斌,胡海霖,徐枝蕃,陈兴,马渊明 《一种仿侧线神经丘的MEMS矢量水听器设计》PDF+DOC2019年第07期 张小勇,沈倪鑫,尚珍珍,纪松祥,张国军 《微压传感器膜片的设计与研制中的关键技术》PDF+DOC1988年第04期 沈桂芬,杨学昌,张久惠 《微悬臂梁在化学及生物传感器中的应用进展》PDF+DOC2004年第05期 王军军,谢海芬,周嘉,黄宜平 《双T型MEMS仿生矢量水听器的设计与测试》PDF+DOC2013年第02期 刘林仙,张国军,许姣,张文栋 《微悬臂梁压阻桥式传感器的微弱信号检测技术研究》PDF+DOC2012年第01期 周振,文丰,唐国先 《基于微悬臂梁的谐振式气体传感器》PDF+DOC2009年第03期 李双美,李关民

    • 通过对硅梁谐振式传感器工作原理的研究，结合Intellisuite软件对硅微悬臂梁谐振器的振动特性进行了分析，设计了具有悬臂梁结构的电热激励/压阻拾振的谐振式传感器，这种传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高、准数字信号输出、成本低、与集成电路工艺兼容等优点。对研究制作过程中的关键工艺——各向异性腐蚀技术，尤其是对低温下的腐蚀工艺进行了实验研究，采用高低温相结合的湿法腐蚀工艺制作了微悬臂梁结构，通过实验分析了利用新型有机薄膜对各向异性腐蚀过程中的MEMS器件金属电极的保护效果，为实际生产和设计提供了参考依据。

    📙 相关资料

    1. 《基于微悬臂梁的生化传感器》PDF+DOC 由微机械加工技术和集成电路工艺制作的微悬臂梁，通过在其表面修饰以生化敏感层，能将电、热、应力和化学等信号变化转换成一个机械响应，配合以信号采集电路和测量系统，能够达到很高的灵敏度和精度。回顾微悬臂梁作为传感器的发展历程，介绍悬臂梁的工作原理，微梁的激励、检测方法以及基于微悬臂梁阵列传感器的优点，总结......
    2. 《MEMS痕量爆炸物传感器的探测选择性分析》PDF+DOC 利用MEMS传感器对被测物进行高选择性探测。对几种不同探测原理的MEMS痕量爆炸物传感器进行了分析与比较，指出其在选择性探测方面的不足与缺陷，提出了可提高选择性的解决方法。...
    3. 《MEMS高温压力传感器研究与进展》PDF+DOC MEMS高温压力传感器随着新型半导体材料和加工工艺的不断深入研究而迅速发展，近年来这一研究方向涌现出不少研究成果。对国内外具有主导影响的多晶硅、SOI、SOS、金刚石薄膜、SiC、电容式、声表面波、光纤式等几类耐高温压力传感器的研究进展、技术关键及应用情况等做回顾论述，并针对各自的主要优缺点进行对比......
    4. 《谐振式MEMS压力传感器的设计与分析》PDF+DOC 提出一种基于静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器，该器件采取面内动平衡的振动模式，为了抑制压力敏感膜片受压变形时谐振器的高度变化，在谐振器固定端设计了悬置扭转结构。根据对传感器数学模型的分析与建立，并利用MEMS有限元仿真软件对传感器在0～120 kPa范围以及全范围过压1.5倍下进行模拟分析与......
    5. 《一种仿侧线神经丘的MEMS矢量水听器设计》PDF+DOC 基于仿生学原理，设计了一种仿侧线神经丘的微电子机械系统(MEMS)矢量水听器。该水听器采用环形纤毛模拟鱼类侧线神经丘中的纤毛束与胶质顶，通过4个十字梁与集成在梁上的压敏电阻将声信号转换为电阻变化量，由电阻构成Wheatstone电桥将电阻变化量转换为电压信号。使用ANSYS软件对水听器结构进行了仿真......
    6. 《微压传感器膜片的设计与研制中的关键技术》PDF+DOC 本文介绍了正方形膜片微压传感器的结构，分析了其设计思想。并就利用正方形膜片开发的微量程力敏器件的灵敏度作了分析。最后较详细地讨论了微压传感器研制中的关键技术——各向异性腐蚀技术。...
    7. 《微悬臂梁在化学及生物传感器中的应用进展》PDF+DOC 微悬臂梁结构传感器以其低成本、小体积、高性能在当今传感器研究中愈来愈受到重视。文章概述了以微悬臂梁为主要结构的传感器在化学及生物探测中的应用进展，介绍了几种可能用于化学和生物探测的高性能微悬臂梁传感器。...
    8. 《双T型MEMS仿生矢量水听器的设计与测试》PDF+DOC 根据当前声纳系统的需求，以MEMS技术为依托，结合仿生原理、压阻原理，提出了一种双T型矢量水听器。在分析T型梁结构力学特性的基础上，详细介绍了两种不同尺寸微结构的设计、加工和测试。采用ANSYS软件仿真，得出两种微结构的谐振频率分别为1 993.3 Hz和10.17 kHz；利用MEMS加工工艺加工......
    9. 《微悬臂梁压阻桥式传感器的微弱信号检测技术研究》PDF+DOC 针对微悬臂梁压阻桥式传感器的输出信号非常微弱的特点，设计了基于该类传感器的微弱信号检测电路，采用锁相放大技术来提取淹没在强噪声背景下的微弱信号，通过理论和实验证明：该设计方法很好地提取了反映变化量性质的有用信号，同时也很好地提高了系统的信噪比，满足了实际情况的需要。...
    10. 《基于微悬臂梁的谐振式气体传感器》PDF+DOC 分析了悬臂梁的静态和动态特性，从理论上给出了提高悬臂梁频率分辨率的办法.在此基础上对6对振动激励和检测机制进行了分析与阐述，并对这些激励和检测机制应用于气体传感器的可行性进行了分析。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。