作者：江晓军,黄惠杰,王向朝 单位：北京无线电技术研究所 出版：《电子测量技术》2008年第07期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZCL2008070400 DOC编号：DOCDZCL2008070409 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍一种基于光栅传感器的位移测量仪。它通过硬件电路对2个光栅传感器输出的信号分别进行20细分，然后对细分后的信号分别进行辨向和计数，再使用一个微处理器对辨向信号和计数信号进行处理，得到X-Y工作台在坐标X和坐标Y方向的位移值，最后根据误差修正算法对位移测量值进行修正，得到该仪器的测量分辨率为1μm且测量精度达&#177；2μm(1σ)。此外，所研制的测量仪具有可靠、易于扩展和调试方便的特点。

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