作者：郭强,吕浩杰,胡国清 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2008年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2008030020 DOC编号：DOCYBJS2008030029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 与其他类型压敏器件相比，接触式电容压力传感器(TMCPS)有着明显的优点，例如较好的线性，高灵敏度和大过载保护能力等。为了达到更好的性能，设计了一种新型的接触式电容压力传感器(DTMCPS)，这种新型的结构是在传统的TMCPS的底部电极上刻蚀了一个浅槽。与现有的接触式电容压力传感器相比，这种结构可以实现更好的线性和更大的线性范围。使用有限元分析软件对膜片的变形进行了分析并阐述了传感器的结构和工艺过程。分析结果表明这种新型结构的传感器可以在保持传统结构优点的同时实现更高的灵敏度，更好的线性和更大的线性范围。

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