《MOEMS压力传感器的研究进展》PDF+DOC
作者:王仕超,张晓霞,王祥斌,周勇,陈沛然,冷洁
单位:中国科学院上海技术物理研究所
出版:《红外》2008年第11期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHWAI2008110150
DOC编号:DOCHWAI2008110159
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微型光机电系统(MOEMS)技术作为一门新兴的技术,已广泛应用于光通信、光显示、数据存储和光学传感等诸多方面,而利用这种技术制作的光学压力传感器更是具有传统压力传感器无法比拟的优点.本文着重介绍了各类MOEMS压力传感器的结构、工作原理以及制作工艺,最后简要介绍了MOEMS压力传感器阵列的结构和制作工艺。
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