作者：陈晓梅,万宇,朱振宇 单位：中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版：《计测技术》2008年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKJC2008020000 DOC编号：DOCHKJC2008020009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《集成聚焦式测头的纳米测量机用于台阶高度标准的评价》PDF+DOC2008年第06期 郭彤,陈津平,傅星,胡小唐 《纳米时栅传感器高精度激励信号源研究与设计》PDF+DOC2015年第07期 黄沛,郑方燕,冯济琴,陈自然 《精密机械元件的快速测量》PDF+DOC1995年第12期 大舟 《超精密纳米时栅传感器试验系统设计》PDF+DOC2014年第06期 周启武,凌旭 《纳米测量机传感器信号显示与切换系统的设计》PDF+DOC2012年第01期 卢歆,雷李华,沈瑶琼,李源,王丽华 《基于二次莫尔条纹纳米光栅传感器细分电路设计》PDF+DOC2011年第02期 孙效骥,钟伟红,方波静,支雄飞,余麟 《轮廓拼接在光学非球面超精密坐标测量中的应用》PDF+DOC2010年第03期 贾立德,王家伍,李婷,郑子文 《用于微纳米几何量尺寸测量的三维微接触式测头》PDF+DOC2014年第05期 李源,吴俊杰 《基于虚拟仪器技术的纳米时栅传感器实验研究》PDF+DOC2013年第12期 凌旭,王先全,冯济琴,蒲红吉 《纳米时栅位移传感器电场分布与误差特性研究》PDF+DOC2013年第10期 刘小康,蒲红吉,郑方燕,冯济琴,于治成

    • 主要介绍了基于纳米测量机的高阶梯差台阶标准样板和深沟槽深度标准样板计量测试和校准工作研究，包括在NMM上对两种标准样板进行计量测试和校准、在NMM上安装不同的探测传感器时纳米级深度标准样板和台阶高度样板的校准比较、以及在研航空基金项目“在NMM上实现小型非球面的坐标扫描轮廓测量方法”。

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