《AlGaN/GaN型气敏传感器对于CO的响应研究》PDF+DOC
作者:冯春,王晓亮,王新华,肖红领,王翠梅,胡国新,冉军学,王军喜
单位:中国科学院半导体研究所;中国电子学会
出版:《Journal of Semiconductors》2008年第07期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTX2008070340
DOC编号:DOCBDTX2008070349
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研究了基于AlGaN/GaN型结构的气敏传感器对于CO的传感性.制备出AlGaN/GaN型气敏传感器器件,并测试得到了器件在50℃时对于不同浓度(1%,9000,8000,5000和1000ppm)的CO的响应情况;测试并分析了1%CO在50和100℃下响应度的差异,计算了通入1%CO前后器件的肖特基势垒高度的变化和灵敏度随电压的分布关系.结果表明,器件的灵敏度强烈依赖于器件的工作温度和通入的气体浓度,随着温度和浓度的增加,器件的灵敏度呈单调增加,器件在100℃空气气氛中表现出了良好恢复性能。
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