《基于FPGA的硅谐振压力微传感器数字闭环系统设计》PDF+DOC

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2. 《硅谐振式压力微传感器闭环系统》PDF+DOC 硅谐振压力微传感器在自激振荡回路中采取电阻热激励、电阻拾振时得到的信号 ，由于有用信号本身的量级小 ，因而含有严重的同频干扰信号 (耦合激励信号 ) ，信噪比SNR (SignalNoiseRatio)仅为 1 0 -...
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5. 《硅谐振梁式压力传感器模拟计算》PDF+DOC 本文给出一种硅谐振梁式压力传感器的敏感结构：以２&#215；２ｍｍ２的方形硅膜片直接敏感被测压力，膜片的上表面架设有６００&#215；５０&#215；５μｍ３两端固支的硅谐振梁，间接感受压力作用，谐振梁封装在真空腔内。利用谐振梁的固有频率与被测压力的关系进行测量。针对这种谐振......
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