作者：刘国华,张伟,徐进良 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2008年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2008040170 DOC编号：DOCWXJS2008040179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用标准MEMS工艺，设计并制造了一种Pt薄膜热式微流量传感器，并且以水和甲醇为工质，对该热式微流量传感器的工作特性进行了实验研究和数值模拟。结果表明，在50μL/min~300μL/min的参数范围内，其工作曲线具有较好的线性测量特性，在薄膜高功率工作及采用小比热容的工作液时，传感器有更高的敏感性；结合理论分析与传热流动的数值模拟，研究了传感器的传热特性，模拟与实验吻合较好。该研究结果将为传感器设计封装的优化提供理论参考和依据。

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