《应用于汽车的流量传感器研究》PDF+DOC
作者:余柏林,甘志银,罗小兵,曹蕙,徐静平
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2008年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2008010120
DOC编号:DOCCGJS2008010129
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研究了横膈膜式热膜流量传感器,横膈膜采用多层薄膜结构,增加其机械强度,同时保持其较低的横向热导率。模拟了横膈膜上温度的分布,分析了在不同流速下各点的温度变化。通过实验和理论模拟,得到了比较一致的结论:在低流速下,上游的冷却作用使温度明显下降,而下游的温度增加;上下游的温度差变化比较明显;随着流速增加到一定程度时,各种变化趋势变缓,上游远端甚至出现温度饱和现象,由于空气流速也对所有的芯片表面有冷却作用,下游远端也出现温度略微下降的现象,导致了上下游的温度差增加趋势变缓。因此,通过远端的电阻温度变化反映出来的流量量程较小。本研究中在加热电阻上游和下游放置两对测试电阻,提高传感器的精度和增加其量程。叠加信号电压相比单个的输出明显加强,单个信号的最大值为15.7mV,而叠加后的信号增强到28.6mV。同时叠加后的测试量程也得到拓宽。
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